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什么是UVLED解膠機?半導(dǎo)體晶圓UV脫膠機的應(yīng)用

來源: 發(fā)布日期 2021-06-28 15:19 瀏覽:

UVLED解膠機是一種將UV切割膜膠帶表面固化,從而完成晶圓芯片自動解膠的光源固化設(shè)備,是一種冷光源LED紫外線解膠固化燈。UVLED解膠機的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品為365nm波段的紫外固化設(shè)備,可根據(jù)客戶實際使用工況提供365nm、385nm、395nm和405nm波段的光源解膠機。主要應(yīng)用在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)加工過程中,在芯片劃片前,需要將晶圓用劃片膠膜固定在框架上,在進(jìn)行完劃片加工工藝后,這時需要用到紫外線光源對固定住的劃片膠膜進(jìn)行照射,使膠膜上的UV膠水完成固化,方便晶圓切片進(jìn)行后續(xù)的封裝工序。
UVLED解膠機 
UVLED解膠機的應(yīng)用行業(yè)有哪些?
UV解膠機在晶圓封裝行業(yè)廣泛使用,像陶瓷切割、玻璃加工等工藝都能用到紫外解膠工序,也有一些光學(xué)鏡頭、LED集成芯片、線路板等半導(dǎo)體材料UV脫膠也都可以使用到。
 
晶圓切片UVLED脫膠機的優(yōu)勢
目前市面上的UV解膠機大部分用的都是汞燈光源,在使用過程中會產(chǎn)生大量的熱,很容易對晶圓切片和其他熱敏材質(zhì)造成損壞,同時因為使用效率低,對產(chǎn)品質(zhì)量很難控制,非常不適合LED芯片和高精密電子器材進(jìn)行表面固化。復(fù)坦希電子科技,采用單波段UVLED紫外光源對產(chǎn)品進(jìn)行低溫照射,被照射的物體表面升溫不超過5攝氏度,輕松完成晶圓加工行業(yè)的UV膠膜的脫膠工藝,對產(chǎn)品也不會產(chǎn)生傷害,極大的滿足了晶圓加工的生產(chǎn)需求。
UV解膠機 
復(fù)坦希UVLED解膠機的特點
1、 設(shè)備小巧,適合6/8/10/12寸晶圓芯片整片照射使用;
2、智能控制面板,可自由設(shè)定照射時間和功率大小;
3、照射模式,自下往上照射,方便晶圓切片放置和取出;
4、 使用壽命是普通UV汞燈的10倍以上,平均使用壽命約為20000h;
5、無需維護成本,無需頻繁更換光源照射頭;
6、采用封閉式模塊設(shè)計,手動/半自動模式,無紫外線光源側(cè)漏,對人體無損傷;
7、LED冷光源照射模式,具有溫度低、曝光均勻、結(jié)構(gòu)緊湊、低能耗、是半導(dǎo)體行業(yè)的理想機型,且低溫對熱敏材料無損害,是一種安全環(huán)保型產(chǎn)品。