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復坦希電動六維調整架_電動光學6軸調整架_手動/電動六維滑臺

產品規(guī)格:電動六維調整架

產品型號:FS6702-6L、FS6702-6R

此調整架為復坦希公司標準規(guī)格,訂購量1-100臺之間,可在當日發(fā)貨。訂購量大于100臺,請聯系我們確認貨期

  • 產品詳情

一. 電動六維調整架定義:

在XYZ軸直動3軸與θxθyθz軸移軸3軸上加入自動滑臺的組合??扇娇刂?,結構對應單芯光纖至光纖排到或光導波路及各種光學元件等所有裝置的自動耦光用途。光軸的上方空間空出,特別適合顯微鏡及探針接近用途的組合。

二. 型號表示方法:

1-2211301A51R61.jpg

三. 基本參數:


X

Y

Z

θx

θy

θz

型號

FS6702-6L

FELP(GS)60-50X-P5

FELS(GS)60X-10ZF-P5

FETA-60A50NR-P5

FETM-40A40

FETA-60A100NR-P5


FS6702-6R

FELP(GS)60-50X-P5

FELS(GS)60X-10ZF-P5

FETA-60A50NR-P5

FETM-40A40

FETA-60A100NR-P5

行程

±25 mm

10 mm

±8.5°

±7°

±5°

臺面尺寸[mm]

60*80

60*60

60*60

/

60*60

厚度[mm]

30

55.5

25

25

25

旋轉中心高度

/

/

50±0.2 mm

40±0.1 mm

(擺動中心精度φ0.01mm以內)

100±0.2 mm

電機

PKP523N12B(東方馬達)

驅動類型

滾珠絲杠

蝸輪蝸桿

滾珠絲杠

絲杠直徑[mm]

8

6

6

傳動比1:255

6

絲杠螺距[mm]

1

1

1


1

分辨率

0.1μm

≈0.00204°/≈0.00102°

(Full/Half)

約0.00282°/約0.00141°

≈0.00108°/≈0.00054°

(Full/Half)

定位精度

5μm(線性修正后,一般可控制在2um以內)

5μm (修正后)

/

/

/

重復定位精度

±0.5μm (一般測試結果是±0.3um)

±0.5μm

±0.005°(大部分實測±0.003°)

±0.01°

±0.005°(大部分實測±0.003°)

反向間隙

0.5(一般測試結果<0.3um)

0.5μm

0.005°(大部分實測0.003°)

小于0.02°

0.005°(一般實測0.003°)

直線度[μm]

5

/

/

/

/

平行度[μm]

20

/

/

/

/

驅動電流[A]

1.2

1.2

1.2

1.2

1.2

最大速度

20 mm/s (測試過最大速度40mm/s)

20 mm/s

21°/S

14°/S

11°/S

材料

SUS440C

鋁合金(黑色陽極氧化)

SUS440C淬+黑鉻

鋁合金(黑色陽極氧化)

負載[N]

49(5Kgf)

49(5Kgf)

19.6N(2.0Kgf)

49(5Kgf)


四. 外形尺寸圖:



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